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  • 快速退火炉

    一般都是以红外卤素灯为发热元件,升温速度极快,采用热电偶测温并采用国际*的PID控制,具有很高的控温精度,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。

  • 真空快速退火炉RTP

    真空快速退火炉RTPRTA(快速热退火);RTO(快速热氧化);注入退火;扩散;化合物半导体退火;渗氮;渗硅;结晶化与致密化;

  • RGB快速退火炉(高性价比)

    RT-1000快速退火炉采用全新概念的PG/PBN静电加热系统,该加热系统主要由小尺寸的陶瓷加热器、电传导陶瓷PG(PyrolyticGraphite)和电绝缘陶瓷PBN(PyrolyticBoronNitride)所组成。RT-1000响应快速、高效快速退火(RTA,RapidThermalAnnealing),可以在10秒钟内快速升温1000摄氏度,且在材料表面退火温度均匀。

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