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磁控溅射镀膜机常见故障有哪些?一定要注意!

发布时间:2022-07-04      点击次数:117
  当磁控溅射镀膜机出现故障后应先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理地排除故障。
  
  排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。
  
  今天给大家列举一些磁控溅射镀膜机使用过程中常见的故障和解决方法,希望能帮助大家!
  
  一、当正在镀膜时真空度突然下降。
  
  1、蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈)
  
  2、坩埚被打穿(更换坩埚)
  
  3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
  
  4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
  
  5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
  
  6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
  
  7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)
  
  8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)
  
  9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
  
  10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)
  
  二、磁控溅射镀膜机抽真空时间过长,且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空。
  
  1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)
  
  2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)
  
  3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
  
  4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)
  
  5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)
  
  6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)
  
  7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)
  
  8、高低预阀是否密封可靠(注油)
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