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三维非接触轮廓仪(3D Profiling)

简要描述:

微观形貌/表面粗糙度/薄膜厚度/空间度量衡/形态、织构的表面分析/机械加工质量控制/工业表面测试<br>可以升级到双扫描器双面轮廓仪,同时两面轮廓及总厚度测量。

更新时间:2018-12-03

发邮件给我们:1617579497@qq.com

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仪器特点

1. 快速非接触技术;

2. 经济的设计;

3. 不需要样品准备;

4. 高Z轴动态范围(zui大27毫米);

5. 高Z轴分辨率(zui小2纳米);

6. 粗糙或抛光表面均可测量;

7. 透明或不透明物体均可测量;

8. 大范围材料种类均可测量(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);

9. 大尺寸样品、旋转样品台及其他客户要求选配;

 

仪器介绍

我司代理的非接触轮廓仪使用白光及独特的彩色象差技术,粗糙度测量远优于激光技术,采样速度可达4000Hz,zui大27毫米的Z轴动态范围确保给出测试样品的*三维图像。彩色象差技术的优势还体现在高倾斜角度及低反射率的表面测量,因此与普通的白光干涉技术相比该仪器应用范围很广。

与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度、选择探针等)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等)。

 

仪器规格

X & Y马达平台工作范围

150毫米(其他尺寸可按要求定做)

Z轴范围

20毫米(内置手动千分尺调节工作距离,马达自动调节选配)

zui大数据采集速度

zui大30,000数据点/秒

zui大X,Y轴向速度

20毫米/秒

 

测量范围

工作距离(mm)

轴向分辨率,精度(nm)

斑点直径(µm)

横向分辨率(µm)

zui大倾斜角度**

zui小测量厚度(µm)

20µm

0.37

2, 10

3

1.5

48°

12

130µm

3.3

5, 20*

2*

1.1*

43°

7*

300µm

5.68

10, 90

7.4

3.7

25°

25

350µm

12.7

10, 60

7

3.5

27°

25

400µm

11

12, 60

2.6*

1.3*

28°

15*

1mm

23.9

30, 300

14 6

6

24°

23

1.2mm

12.7

25, 200

4

2

27°

25

3mm

26.9

100, 600

25

12.5

12°

220

3.5mm

16.4

75, 400

8

4

22°

60

10mm

66.9

300, 900

51

25.5

12°

425

12mm

29

280, 900

16

8

14°

200

24mm

222.3

1500, 3000

100

50

1570

27mm

19.6

600, 3000*

16

8

8.6°

590

2 - 100µm

(干涉测量法)

42

10, 100

20

10

7

2

  *理论数据    **zui大倾斜角度可达到80°

 

仪器部分三维图像或数据

 

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   左图)

一角硬币三维形貌        

       

 

   右图)

纸的三维形貌

 

 

 

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      上图) 不锈钢粗糙度                             上图) 陶瓷表面形貌

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