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RT-1000快速退火炉采用全新概念的PG/PBN静电加热系统,该加热系统主要由小尺寸的陶瓷加热器、电传导陶瓷PG(Pyrolytic Graphite)和电绝缘陶瓷PBN(Pyrolytic Boron Nitride)所组成。RT-1000响应快速、高效快速退火(RTA, Rapid Thermal Annealing),可以在10秒钟内快速升温1000摄氏度,且在材料表面退火温度均匀。
更新时间:2017-07-19
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