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半自动光刻机在高精度微加工中的实际应用
半自动光刻机在高精度微加工中的实际应用 2025-04-15

随着微电子技术和纳米技术的快速发展,光刻技术成为了半导体制造和高精度微加工中的核心技术。尤其是半自动光刻机,凭借其较高的性价比和较为灵活的操作模式,已经在许多高精度微加工领域中得到了广泛应用。一、半自动光刻机的工作原理光刻技术通过利用光敏材料(光刻胶)在紫外光或激光照射下发生化学...

  • 纳米压印系统应用及方法介绍 2022-05-05

    纳米压印系统是一种用于数学、物理学、化学、材料科学领域的工艺试验仪器。生物大分子的纳米图案变化对于组织工程具有非常重要的意义,如何将在生物活性前提下实现生物大分子的纳米图案仍然是一个科学挑战。利用纳米压印过程的生物相溶性,可以将生物大分子DNA、蛋白质等直接进行纳米图案化,进而研究其在生物医疗和组织工程领域的应用。纳米压印方法:包括步骤:提供集成模具;所述集成模具包括平面板以及紧密固定在所述平面板上的多个具有纳米图案的单元模具;提供衬底;在所述衬底表面形成光刻胶层;将所述集成...

  • 皮可安培计的工作原理及使用注意事项 2022-04-22

    皮可安培计转动线圈式电流表转动线圈式电流表(galvanometer)装有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。基本简介:​测量电路中电流强度的仪器,也叫安培表、电流表。主要类型有转动线圈式电流表、转动铁片式电流表、热偶式电流表以及热线式电流表转动线圈式电流表转动线圈式电流表(galvanometer)装有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。皮可安培计...

  • 多功能磁控溅射仪功能强大,性价比高 2022-04-19

    多功能磁控溅射仪在所有的小型高真空镀膜设备中,此设备功能强大,性能价格比非常好。镀膜方式包含了热蒸发,电子束蒸发和磁控溅射沉积。由于它的模块化设计,使得多数研发人员用起来非常方便,针对各种样品易于转换沉积条件,是研究人员不可获缺的镀膜工具!系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。主要性能指标:极限压力≤2.0x10-5Pa;基片结构设计6个工位;样品尺寸:Ф30mm,可放置6片;运动方式:0-360°;...

  • 开尔文探针扫描主要应用于以下领域 2022-04-11

    开尔文探针扫描是一种基于振动电容的非接触无损气相环境金属表面电位的测量技术,用于测量材料的功函数(WorkFunction)或表面势(SurfacePotential)。它可以用于检测气相环境中因温度、湿度、表面的化学、电学、力学、晶体、吸附、成膜等因素引起的材料表面电势的微小变化,是一种高灵敏的表面电化学分析技术,是能够测定气相环境中腐蚀电极表面电位的方法。特点:(1)高速高分辨电位分布测量功能。(2)快速变化电位分布测量功能。(3)低噪声电位分布测量功能。(4)智能调试功...

  • 磁溅射镀膜机的磁控溅射种类及工艺 2022-04-11

    磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机,用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜,亦可镀铁磁材料。磁溅射镀膜机主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层,以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术发展来的磁控溅射镀膜的原理及相应工艺的研究。溅射属于PDV(物...

  • 一文带你快速了解磁控溅射镀膜机的工作原理 2022-04-06

    磁控溅射镀膜机是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。磁控溅射镀膜机原理:磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以...

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