多功能磁控溅射仪满足高分辨扫描电镜的样品处理

　　多功能磁控溅射仪在单个阴极靶系统中，与脉冲磁控溅射有同样的释放电荷、防止打弧作用，适用于高分辨扫描电镜及聚焦离子束扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。

　　仪器实现磁控溅射喷金，获得更为细腻的金膜，以满足高分辨扫描电镜等样品处理，同时具备射频离子源实现样品清洗，高效、低等离子体轰击损伤，核心部件采用无油分子泵组，静音、无需操心真空系统和操作间环境泵油污染，保证设备具有优异的质量与稳定可靠性，触摸屏界面操作，即插即用。

　　该设备是一款小型磁控溅射镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作，对实验室供电要求低，该系列设备主要部件采用的配置，从而提高设备的稳定性，另外智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。

　　设备主要优势：

　　1、设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以放置于实验桌面上即可；

　　2、通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换，实现一机多用；

　　3、设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；

　　4、多功能磁控溅射仪可将主机置于手套箱内，水、电、气等，与手套箱的对接灵活方便；

　　5、保证了设备的质量及稳定性；

　　6、PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；

　　7、控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；

　　8、控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行。