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狭缝挤出式涂布机沉积速率高,试验周期短

发布时间:2022-04-14      点击次数:203
       狭缝挤出式涂布机是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段。
  历史背景:
  早于1916年,爱因斯坦(AlbertEinstein)已提出受激发射作用的假设。可是,首部以红宝石棒为产生激光媒介的激光器,却要到1960年,才由梅曼(TheodoreH.Maiman)在休斯实验研究所建造出来。总共相隔了44年。使用激光来熔化物料的历史,要追溯到1962年,布里奇(Breech)与克罗斯(Cross)利用红宝石激光器,汽化与激发固体表面的原子。三年后,史密斯(Smith)与特纳(Turner)利用红宝石激光器沉积薄膜,视为脉冲激光沉积技术发展的源头。
  涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时,激光与物质之间的所有物理相互作用,亦包括等离子羽状物的形成,其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移,及最后的膜生成过程。
  狭缝挤出式涂布机主要优点:
  1.易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性。
  2.沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀。
  3.工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制。
  4.发展潜力巨大,具有极大的兼容性。
  5.便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。
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