狭缝挤出式涂布机沉积速率高，试验周期短

　　历史背景：

　　早于1916年，爱因斯坦（AlbertEinstein）已提出受激发射作用的假设。可是，首部以红宝石棒为产生激光媒介的激光器，却要到1960年，才由梅曼（TheodoreH.Maiman）在休斯实验研究所建造出来。总共相隔了44年。使用激光来熔化物料的历史，要追溯到1962年，布里奇（Breech）与克罗斯（Cross）利用红宝石激光器，汽化与激发固体表面的原子。三年后，史密斯（Smith）与特纳（Turner）利用红宝石激光器沉积薄膜，视为脉冲激光沉积技术发展的源头。

　　涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时，激光与物质之间的所有物理相互作用，亦包括等离子羽状物的形成，其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移，及最后的膜生成过程。

　　狭缝挤出式涂布机主要优点：

　　1.易获得期望化学计量比的多组分薄膜，即具有良好的保成分性。

　　2.沉积速率高，试验周期短，衬底温度要求低，制备的薄膜均匀。

　　3.工艺参数任意调节，对靶材的种类没有限制。

　　4.发展潜力巨大，具有极大的兼容性。

　　5.便于清洁处理，可以制备多种薄膜材料。