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纳米(微米)压痕/划痕测试仪

简要描述:

纳米(微米)压痕/划痕测试仪用于薄膜、涂层、基底等材料的高精度纳米机械性质测量,该仪器能快速提供您材料(软、硬、脆、韧各种材料)的硬度、杨氏模量等性质。

更新时间:2018-12-04

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仪器特点

1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用,提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应;

2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试;

3) Windows XP环境下自动操作;

4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试;

5) 材料黏弹性的动态机械分析;

6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试;

7) 压痕的分布地图绘制(Mapping);

8) 选配的高低温测试;

9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测;

10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试模块功能;

 

规格

 zui大压痕深度

 4µm & 25µm自动距离修正(1000µm可选配)

 深度分辨率(理论)

 0.006nm

 深度分辨率(防振台*)

 0.5nm

 zui大负载

 50mN & 500mN自动距离修正

 负载分辨率(理论)

 0.08µN

 负载分辨率(防振台*)

 1µN

 X-Y运动范围

 200 x 100毫米

 X-Y横向分辨率

 0.15µm

 Z向马达

 90毫米

 物镜镜头

 标准: 10x, 50x, 100x (选配: 5x, 20x)

 * 依赖实验室环境

 

 

应用领域

半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);

存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);

光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);

金属蒸镀层;

防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具);

药理学(药片、植入材料、生物组织);

工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS);

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