光干涉薄膜测厚仪

应用领域

理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们zui熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：

□      晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；

□      晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；

□      DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；

□      MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm)；

□      DVD/CD涂层；

□      光学镜头涂层；

□      SOI硅片；

□      金属箔；

□      晶片与Mask间气层；

□      减薄的晶片(< 120µm)；

□      瓶子或注射器等带弧度的涂层；

□      薄膜工业的在线过程控制；等等…

软件功能

丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。

软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。

软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。

软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。

软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

硬件升级
       

多通道测试，zui多支持8个独立的同时测试                       6英寸、12英寸扫描样品台

         RTL透明样品夹具                           用于曲面结构的CSH探头

            显微镜配适器

不同型号及规格
NanoCal-VIS           波长400 -850 nm, 膜厚50 nm.-20 μm (如SiO2 on Si)
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR           波长650 -1100 nm, 膜厚70 nm.-70 μm
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-VIS/NIR    波长400 -1100 nm, 膜厚50 nm.-100 μm (选配1um-250um)
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-UV/VIS      波长250 -850 nm, 膜厚10 nm.-20 μm 
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-FULL         波长250 -1100 nm, 膜厚10 nm.-70 μm
                               分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR-HR     波长700 -978 nm, 膜厚1um-250um(选配400um)，高分辨分光
                               计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-512-NIR    波长900 -1700 nm, 膜厚50 nm.-200 μm  InGaAs-512阵列分光                                 计，A/D转换器，USB和RS232接口，高能卤素光源，反射探针，软件

NanoCal 软件                单层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境；
NanoCal MS 软件          多层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境
NanoCal Mapping软件   配合6”或12”扫描台使用，*3D数据；
NanoCal Online软件      在线原位分析软件；
NanoCal Remote软件    远程控制软件模块