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光干涉薄膜测厚仪

简要描述:

该产品是一款价格适中、功能强大的膜厚测量仪器,近几年,每年的全球销售量都超过200台。根据型号不同,测量范围可以从10nm到250um,它Z高可以同时测量4个膜层中的3个膜层厚度(其中一层为基底材料)。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。

更新时间:2018-12-03

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应用领域

理论上讲,我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们zui熟悉的应用领域(半导体薄膜,光学薄膜涂层,在线原位测量,粗糙或弧度表面测量):

□      晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...);

□      晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...);

□      DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层;SOI硅片;

□      MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm);

□      DVD/CD涂层;

□      光学镜头涂层;

□      SOI硅片;

□      金属箔;

□      晶片与Mask间气层;

□      减薄的晶片(< 120µm);

□      瓶子或注射器等带弧度的涂层;

□      薄膜工业的在线过程控制;等等…

 

软件功能hspace=0

丰富的材料库:操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据,基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。

软件操作简单、测速快:膜厚测量仪操作非常简单,测量速度快:100ms-1s。

软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。

软件带有构建材料结构的拓展功能,可对单/多层薄膜数据进行拟合分析,可对薄膜材料进行预先模拟设计。

软件带有可升级的扫描功能,进行薄膜二维的测试,并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

硬件升级
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多通道测试,zui多支持8个独立的同时测试                       6英寸、12英寸扫描样品台

 

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         RTL透明样品专用夹具                           用于曲面结构的CSH探头

 

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            显微镜配适器

不同型号及规格
NanoCal-VIS           波长400 -850 nm, 膜厚50 nm.-20 μm (如SiO2 on Si)
                               分光计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-NIR           波长650 -1100 nm, 膜厚70 nm.-70 μm
                               分光计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-VIS/NIR    波长400 -1100 nm, 膜厚50 nm.-100 μm (选配1um-250um)
                               分光计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-UV/VIS      波长250 -850 nm, 膜厚10 nm.-20 μm 
                               分光计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-FULL         波长250 -1100 nm, 膜厚10 nm.-70 μm
                               分光计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-NIR-HR     波长700 -978 nm, 膜厚1um-250um(选配400um),高分辨分光
                               计,A/D转换器,USB和RS232接口,卤素光源,反射探针,软件
NanoCal-512-NIR    波长900 -1700 nm, 膜厚50 nm.-200 μm  InGaAs-512阵列分光                                 计,A/D转换器,USB和RS232接口,高能卤素光源,反射探针,软件

NanoCal 软件                单层膜测量、模拟、分析,支持Windows环境;
NanoCal MS 软件          多层膜测量、模拟、分析,支持Windows环境
NanoCal Mapping软件   配合6”或12”扫描台使用,完全3D数据;
NanoCal Online软件      在线原位分析软件;
NanoCal Remote软件    远程控制软件模块

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