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小型化分子束外延系统(Mini-MBE)

简要描述:

Mini-MBE系统是特别为科研院所专业外延薄膜生长的科研人员设计的一款系统,可以制备常规和的材料。

更新时间:2018-12-03

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其主要的设计特点包括:

* 腔体设计模块化

* 结构紧凑,性能价格比高

* 控制系统具有大量生长参数

* 制备腔和分析腔转换非常容易

* 样品可完全操纵

 

技术指标

标准的样品夹具包含了各种轴向转动的需求,从而0角度的RHEED分析。

纵向生长腔结构具有足够的高度,保证所有蒸发源的进入,这样系统可以长时间的不间断的运行。

模块化的腔体设计使得某个功能结构可以转换,例如蒸发源,如果以后改变研究方向,或者对新的蒸发和沉积技术感兴趣,均可以实现。

每个接口均配置了样品操纵和转换器,并有生长表征仪器,例如RHEED, 椭偏仪, RGA,膜厚仪以及分子束流监控器。

样品操纵装置允许在加热或冷却基质时连续转动,从而达到zui佳的加热效果,1.500°C的高温得以实现。

蒸发源接口可以偶合大部分用户要求的装置,包括125 cc 到 2.000°C的effusion cell,cracker cells,电子束或小型电子束蒸发源,氮气和氧气的gas crackers。

蒸发源在使用过程中,由于快门机械装置的软响应,一直保持着非常高的纯度。

标准的泵体接入口使系统可以连接各种泵包括离子泵,钛泵,分子turbo泵。低温泵也可以安装。

此系统为模块化的结构,也可以按客户要求重新设计一套新的MBE系统。

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