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零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪加工过程的形状检测，应用于精密机械加工机轴、凸轮轴粗糙度测量,部件微孔隙内部结构表面检测。*可以做到精细结构内表面检测的系统，检测指标包括：内表面3维型貌，粗糙度，曲率半径等
更新时间：2018-11-22
零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品特性
√ 任意凹型或凸型物体表面/层的非接触光学检测
√ 可检测金属表面的任意形状和微缺陷，而对非金属表面可进行亚表面层分析
√ 亚微米精度测试结果不受表面质量的影响，表面可为抛光至很粗糙（平均获得）
√ 易附加三维坐标的测量系统
√ 独有的侵入式探针传感器可以轻松地进入样品内部探测内表面，这是其他轮廓仪所不具备的
零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品规格
√ zui大获得速率：16kHz
√ 工作距离（fix）：0.4--15mm
√ 光斑尺寸（model 80/300）：5um
√ zui细探针直径：0.6mm
√ 重复性（在1kHz获取速率下）：+/-0.25um
√ 静态精度（在0.1kHz获取速率下）：+/-0.05um
√ zui大移动速度：60mm/s
√ 测试波长（model 80/300）：830/1300nm
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