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Preceptor-SMIF批处理ID读取器:
SMIF Batch ID Reader将Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports组合在一个迷你环境中。
SMIF Pod会自动打开并放入设备中。Kuka机器人将卡塞从Pod传输到Batch ID Reader。
IDWR200SMIF允许SMIF晶圆厂引入晶圆跟踪和/或Pod到Pod传输。
循环时间不到3分钟,它可以用超快的解决方案取代排序过程步骤。
GEM300与E84接口,用于外部自动化系统接口
Preceptor-SMIF批处理ID读取器:
Model | Wafer Size | Description |
IDWR200SMIF | 200mm | SMIF Batch ID Reader |
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
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