多种薄膜沉积设备,PECVD、ALD、PLD、MBE、磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等。详细介绍请登陆公司网页。http://www.cross-tech.com.cn/
脉冲激光外延制备系统凭借着优异的性能, PVD公司生产的脉冲激光沉积分子束外延系统在国内外拥有较多用户,为众多老师开启薄膜外延制备的新篇章,用分子束外延进行半导体材料、ZnO、GaN、SiGe和金属/氧化物外延生长。
该ALD拥有达到或超过市场上其他品牌的功能,同时易于使用和维护 - 成本低于当今市场上的价格 腔室温度:室温到325°C±1°C; 前躯体温度从室温到 150 °C ± 2 °C(带加热夹套) 市场上最小的占地面积(2.5 平方英尺),台式 安装和洁净室兼容 简单的系统维护和实用程序和 市场上的前体使用 流线型腔室设计和小腔室体积 快速循环能力 全硬件和软硬件联锁,即使操作安全 在多用户环境中
sputter coater多功能磁控溅射仪包含大多数的真空薄膜镀层技术,电子束蒸发,溅射沉积。这样我们在一台设备上可以灵活运用多种膜生长技术,针对各种不同大小和形状的样品,非常方便切换沉积模式。
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