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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 电子 |
|---|---|---|---|
| 俄歇电子能谱 | 10eV |
俄歇电子能谱仪（在线表面分析）-材料表征
简介：
microCMA是一种紧凑型（2.75“CF安装）柱面镜式俄歇（AES，俄歇电子能谱）分析仪。
microCMA是30年来投入市场的*创新性的俄歇分析仪。
优异性能：
2.75英寸法兰安装CMA，内置3kV同轴电子枪。这两项功能的结合使microCMA在竞争中脱颖而出。
microCMA安装在2.75英寸法兰上，这意味着它可以添加到大多数腔室，而无需向腔室添加另一个端口（大多数腔室有额外的2.75英寸端口可用）。
小型化还意味着，只需一个T形管和一个小型离子泵，而不是传统的大型腔室，就可以制造出一个完整的系统。
同轴电子枪使样品（弹性峰）易于对准，也无需电子枪（电子源、电源和法兰）。
俄歇电子能谱仪（在线表面分析）-材料表征
技术参数：
紧凑型2.75“CF法兰安装
同轴3kV电子枪
CeBix灯丝（运行温度低于Lab6）
USB控制
ASCII命令
经验证的CMA设计
应用领域：
表面分析
螺旋钻/AES
薄膜分析
冶金学
半导体
原位
分子束外延
超高真空
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