您好!欢迎访问科睿设备有限公司网站!
咨询热线

13916855175

当前位置:首页 > 产品中心 > > 镀膜设备 > 超高真空多腔室物理气相沉积系统

超高真空多腔室物理气相沉积系统

简要描述:超高真空多腔室物理气相沉积系统该系统由专业的沉积设备商制造,配置多种沉积方式(预留各种功能接口),高度灵活,非常适合多种沉积模式的科研.

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2018-12-11
  • 访  问  量:1494

产品分类

Product Category

相关文章

Related Articles

详细介绍

价格区间面议产地类别国产

超高真空多腔室物理气相沉积系统

该系统由全球专业的沉积设备商制造,配置多种沉积方式(预留各种功能接口),高度灵活,非常适合多种沉积模式的科研.

目前该系统的超高真空条件沉积模式(仅用机械泵+分子泵,极限真空可达5X10E-10Torr)。多种组合沉积模式,同一腔体实现多种功能沉积方式,沉积源模式有:
磁控溅射源
电子束蒸发源
热蒸发源
该系统高度灵活,软件操作方便,专业为研究机构沉积超纯度薄膜,是真正的超高真空沉积系统。 
超高真空多腔室物理气相沉积系统技术参数: 
极限真空: <5x 10E-10 torr(经过24小时烘烤冷却后);
镀膜均匀度:<3%
样品传送: 便捷安放上置衬底
机柜: 占用空间小结构;
样品台工作: 旋转, 加热, 加载偏压;
样品操作: 预抽真空室;
样品尺寸: 1”、 2”、 3”、 4” 、8”、12”等;
膜厚监控: 石英晶体微天平, 椭偏仪;
烘烤: 内置加热或外置保温加热;
简单方便 的全自动软件操作:全自动抽取真空并且程序自动运行。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信
地址:上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室 传真:021-55781190
©2022 科睿设备有限公司 版权所有 All Rights Reserved.  备案号:
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站