俄歇电子能量谱俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术. AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。俄歇电子在固体中运行也同样要经历频繁的非弹性散射，能逸出固体表面的仅仅是表面几层原子所产生的俄歇电子，这些电子的能量大体上处于 10～500电子伏，它们的平均自由程很短，大约为5～20埃,因此俄歇电子能谱所考察的只是固体的表面层。俄歇电子能谱通常用电子束作辐射源，电子束可以聚焦、扫描，因此俄歇电子能谱可以作表面微区分析，并且可以从荧光屏上直接获得俄歇元素像。它是近代察固体表面的强有力工具，广泛用于各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。


主要特点：
小巧紧凑– fits on 2.75" flange (needs 1.5" ID tube)
Benefits of CMA design include – easy to align sample, good signal and resolution.
3kV 共轴电子枪
CeBix 灯丝，提供大电流密度
USB接口
Windows 7 数据获取及分析软件
ASCII command structure
LabVIEW 软件驱动