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等离子体原子/离子源

简要描述:

等离子体原子/离子源产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有最低离子能量的"软"等离子体。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,完全与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。

更新时间:2018-12-11

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等离子体原子/离子源

等离子体原子/离子源
    我司提供等离子体源是通过将气体分离来产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有最低离子能量的”软”等离子体。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,完全与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。
 
 等离子体原子/离子源
应用范围:
氧化物
氮化物
掺杂
 
配置参数:
多种型号不同功率RF等粒离子体源可选;
在等离子体源终端位置可添加离子束加热器
自动匹配网络
等粒子体监测
手动/自动 挡板
放电管
适用气体,如O2, N2, H2, CH4等
占用空间小
冷却水流量低,
气体流速可控

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