等离子体原子/离子源产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有低离子能量的”软”等离子体。 我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,*与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。
半球型电子能量分析谱¨ 大型高透射半球形电子能量分析谱--120mm半径. ¨ 全程180度反转角度. ¨ 边缘界线区域校正--使用Jost电极.
真空腔体水气解吸附组件 Zcuve是近年来上较多使用的水蒸气解吸技术。*的设计可从2.75“扩展到8”法兰尺寸,具有比例较高的紫外线功率因数
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