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垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐：
VBT系列机器是一种单级自动垂直晶圆转移工具，具有凹口/平面对齐选项。
边缘的晶圆处理
检测传感器，用于监测传输和对齐过程。
占地面积小。
垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐：
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。
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