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手动/自动批量晶圆转移：
AWT/MWT（自动/手动晶圆传送）机器在卡塞之间水平传送晶圆。
安全联锁装置（AWT）
卡塞放置传感器
晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测
当联锁激活时，晶片传输将停止
MWT有一个自返回的传送臂，因此机器随时可以使用。
反向卡塞装载时可以批量翻转
手动/自动批量晶圆转移：
Model | Wafer Size | Description |
AWT* | 150/ 200 mm | Auto Wafer Transfer |
MWT* | 75 to 200 mm | Manual Wafer Transfer |
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。
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