MDA-400M-6光刻机

MDA-400M-6光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，光刻机，紫外曝光机等；
MIDAS为半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。

产地：韩国MIDAS公司，唯1能做到图形化蓝宝石衬底（PSS）光刻机，高性价比
型号：MDA-400M-6光刻机

MDA-400M-6光刻机

易于操作和安装，处理各种尺寸的基板，PLC操作，PC控制

•手动操作

•掩模版尺寸高达7英寸

•基板尺寸为6英寸圆形

•均匀光束尺寸6.25*6.25英寸

•光源：紫外线灯，350 W

•光束波长350~450 nm

•光束均匀性<±3%

•365 nm强度~25 mW/㎠

•手动对准

•对准精度1 um

•操作模式：软、硬、真空接触和接近

•工艺分辨率1 um@1 um PR厚度，真空接触

•重量（kg）150

•尺寸（mm）1080（宽）*1060（深）*1580（高）