静电吸盘

静电吸盘能够通过静电力将多个芯片以及晶片的一部分夹紧到晶片吸盘上。

静电吸盘设备对于研发机构来说非常有用，因为研发机构并不总是能够处理完整的晶圆。芯片的静电夹紧允许在氢fu酸蒸汽释放之前对MEMS晶片进行苛刻的切割过程。通过修改经典的制造顺序，可以在轻腐蚀性液体下刻蚀出MEMS器件。

静电吸盘的使用非常简单。芯片被放置在晶片架上，电力由控制器箱上的开关打开。静电力可以调节。

静电卡盘既可用于整个晶片夹紧，也可用于单个芯片的静电夹紧。

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