您好!欢迎访问科睿设备有限公司网站!
咨询热线

13916855175

当前位置:首页 > 产品中心 > > 薄膜半导体材料制备系统 > MBE 系统

MBE 系统

简要描述:MBE 系统根据蒸发源的类型和数量以及基板大小,可提供不同的标准衬底尺寸:直径300mm、直径450mm 和 直径570mm(根据要求的其他尺寸)。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-11-21
  • 访  问  量:16

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域综合

带快速进样室的独立 MBE 系统

  • 本底真空优于2x10-10mbar

  • 4 轴操纵器,可直接连接电子光束加热至 1200 °C 和 液氮LN2冷却

  • Load-Lock进样室与线性传输杆,使样品夹具传输方便。最多可存储6个样品夹具。

  • 沉积室包含用于 RHEED 枪、离子枪、光束通量监视器、石英晶体天平等的端口。

  • 可更换底部法兰,带专用起重推车

  • 沉积室中可防止交叉污染

样品沉积室配备了用于分析仪器等的其他端口。

MBE 系统根据蒸发源的类型和数量以及基板大小,可提供不同的标准衬底尺寸:直径300mm、直径450mm 和 直径570mm(根据要求的其他尺寸)。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信
地址:上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室 传真:021-55781190
©2025 科睿设备有限公司 版权所有 All Rights Reserved.  备案号: