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安装在批次ID阅读器周围的Cognex InSight ViDi D905相机
真正的边缘检查，可选正面和背面检查
前后摄像头可配置为在误处理后检测“CMP环"
1分钟完成边缘检查周期
按插槽号划分的通过/失败结果——SECS/GEM连接
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Model | Wafer Size | Description |
IDWR-EDGE | 150/ 200 mm | Batch Edge Inspection |
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