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手动/自动平面和凹口对准器/升降机

简要描述:手动/自动平面和凹口对准器/升降机,NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-11-21
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手动/自动平面和凹口对准器/升降机

NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。

使用2个无真空支架从载体上抬起

照明单元(红色或白色LED)照亮晶片进行检查或激光标记验证。

NFE200与各种衬底材料兼容,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)

手动/自动平面和凹口对准器/升降机

Model

Wafer Size

Description

NFE200

200 mm

Notch Finder and Elevator

FFE150

150 mm

Flat Finder and Elevator



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