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台式晶圆分选机
SPPE-SORT是一款基于SPP架构的台式晶圆分选机。
无真空末端执行器
晶圆转移前的卡塞映射
传感器在整个传输过程中检查晶片的安全性
触摸屏界面
可以创建特定的工艺配方
SECS/ GEM (选配)
静电防护
带有Congnex ID阅读器的嵌入式对准器
最小晶圆接触真空自由端部执行器手指
TAIKO/MEMS处理-边缘接触设计（可选）
Model | Wafer Size | Description |
SPPE200SORT | 200 mm | Wafer Sorter |
SPPE150SORT | 150 mm | Wafer Sorter |
SPPE100/150SORT | 100mm & 150mm | Wafer Sorter |
SPPE150/200SORT | 150m & 200mm | Wafer Sorter |
SPPE75SORT | 75mm | Wafer Sorter |
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。
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