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真空腔体水气解吸附组件2

简要描述:

真空腔体水气解吸附组件
ZCUVE代表了水蒸气解吸技术的新进展。独特的设计可从2.75“扩展到8"法兰尺寸,紫外线功率因数w按比例增加

更新时间:2020-05-13

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真空腔体水气解吸附组件

仪器简介:

ZCUVE代表了水蒸气解吸技术的新进展。独特的设计可从2.75“扩展到8”法兰尺寸,比例更高的紫外线功率因数和更大的法兰尺寸。

ZCUVE的设计是为了解吸大型沉积室中的水,在这种情况下,真空室内不可能有暴露的紫外线发射器。标准的现成百叶窗可以用来防止ZCUVE在沉积过程中被涂层。

该工艺适用于o型环(Viton)密封真空室,没有任何其他烘烤方式,也适用于较小尺寸的负载锁。
技术参数:

真空腔体水气解吸附组件

型号法兰口径
Z2752.75" / 40 CF
Z4504.5" / 63 CF
Z6006.0” / 100 CF
Z8008.0” / 160 CF

一个外部组件容纳紫外线发射器,它位于高紫外线传输,超高真空窗口后面。发射器背面的镜子进一步改善了185纳米紫外线通过窗户进入真空室的传输。ZCUVE外壳用惰性气体回填,以防止外壳内产生臭氧。最后,发射极引线通过MHV高压连接器连接到控制装置。

ZCUVE - Shutter Closed

ZCUVE - Shutter Open

ZCUVE - Shutter Closed

ZCUVE - Shutter Open

利用UVC辐射解吸水蒸气的优点是产生的热量很少。更少的热量意味着对机械零件和样品的损坏更少。

另一个优点是,UVC不需要一个直接的位置线来解吸水蒸气。它不能进入角落和缝隙,但它能反射出抛光表面(如室壁),每次“反弹”损失50%至70%。

主要特点:

 

UVB-100

UVB-100 ChamberThe UVB-100 uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter extends into the vacuum chamber.

 

 

ZCUVE

ZCUVEThe ZCUVE (Zero Clearance UV Emitter Water Vapor Desorption System) uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter resides outside the vacuum chamber.

注:这些水蒸气解吸产品设计用于高真空系统、大真空、腔室和负载锁。它们不是为了取代超高真空系统中的辐射烘烤方法而设计的,而是与超高真空兼容的

 

 

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