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开尔文探针系统-半导体表征

简要描述:开尔文探针系统-半导体表征
开尔文探针系统材料表面的功函数通常由上层的1-3层原子或分子决定,所以开尔文探针是一种较灵敏的表面分析技术。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-08-23
  • 访  问  量:2942

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详细介绍

品牌KP TECHNOLOGY应用领域能源,电子,电气


开尔文探针系统-半导体表征

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置,用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。

材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定,所以开尔文探针是一种灵敏的表面分析技术。


开尔文探针系统-半导体表征包括:

□   单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);

□   扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);

□   超高真空(UHV)开尔文探针;

□   湿度控制的腐蚀开尔文探针;

(ASKP)

   ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的开尔文探针系统,它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:

□    2毫米,50微米探针;

□    功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖),5-10 meV(50微米针尖);

□    针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内;

□    表面势和样品形貌3维地图;

□    探针扫描或样品扫描选配;

□    彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;

□    参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌);

□    备用的针尖放大器;

□    24个月超长质保期;


仪器的特色

□    全球台商用的*意义上的;

□    最高分辨率的功函数和表面势,好的稳定性和数据重现性;

□    非零技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作,与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比,不会收到噪声的影响拥有高灵敏度;

□    高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受              样品形貌的影响,针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移;

□    该领域内,拥有好的信噪比;

□    快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间,远快于其他公司产品;

□    功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器,与通常的压电驱动器相比,VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作;

□    所有开尔文探针参数的全数字控制;

ON    

非零探测  Off Null detection
HR       高度调节模式  Height Regulation mode
SM实际开尔文探针信号监控  Monitoring of the actual Kelvin probe signal
UC用户通道,同时测量外部参数  User Channels, simultaneous measurement of external parameters
DC电流探测系统去除漂移效应  Current Detection system rejects stray capacity effects
PP平行板震动模式  Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode
SA信号平均  Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)
WA功函数平均  Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting
DC所有探针及探测参数的数字控制  Digital Control of all Probe and Detection Parameters
QT针尖快速改变  Quick-change Tip, variable spatial resolution
DE  数据输出  Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software
OC输出通道  Output Channel: TTL switching of external circuit
FC法拉第笼(电磁干扰防护罩)  Faraday Cage (EMI Shield)
RS金-铝参考样品  Gold-Aluminium Reference Sample
额外选配项
SPV表面光伏电压软硬件包  Surface Photovoltage Software and Hardware Package
RH相对湿度腔  Relative Humidity Chamber
AC控制气体进口的环境单元  Ambient Cell for controlled Gas Inlet
EDS外部数据示波镜  External Digital Oscilloscope
OPT彩色相机  Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts
ST针尖置换  Replacement Tips
GCT镀金的针尖替换  Gold Coated Replacement Tips
XYZ25.4毫米手动3维控制台  3-axis 25.4 mm Manual Stage


应用领域

   吸附,电池系统,生物学和生物技术,催化作用,电荷分析,涂层,腐蚀,沉积,偶极层形成,显示技术,教育,光/热散发,费米级扫描,燃料电池,离子化,MEMs,金属,微电子,纳米技术,Oleds,相转变,感光染色,光伏谱学,高分子半导体,焦热电,半导体,传感器,皮肤,太阳能电池,表面污染,表面化学,表面光伏,表面势,表面物理,薄膜,真空研究,功函数工程学;

目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统,目前在南昌航空大学工作正常,运行稳定。




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