薄膜电阻及厚度测试设备 可按照需求配置单个或多个针对不同样品的高敏感探头进行测量,并通过显示模块输出。检测终输出结果可显示为薄膜电阻(Ohms/sq),薄膜电导(Mhos/sq),厚度(单位:um)等。
真空快速退火炉-材料设备 一般都是以红外卤素灯为发热元件,升温速度极快,采用热电偶测温并采用*的PID控制,具有很高的控温精度,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。
真空快速退火炉RTP-材料设备 RTA(快速热退火); RTO(快速热氧化);注入退火;扩散;化合物半导体退火;渗氮;渗硅; 结晶化与致密化;
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