您好!欢迎访问科睿设备有限公司网站!
咨询热线

13916855175

当前位置:首页 > 产品中心 > > 光刻机,匀胶机 > 纳米压印系统-光刻机

纳米压印系统-光刻机

简要描述:纳米压印系统-光刻机
介绍了一个台式、独立的纳米压印平台。该平台提供了一个带有微型定位夹具的机械平台,用于安装纳米压印室、紫外线固化

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-08-23
  • 访  问  量:2811

产品分类

Product Category

相关文章

Related Articles

详细介绍

品牌其他品牌

纳米压印系统-光刻机

引入了一个台式、独立的NanoImprint平台。
这个平台提供了一个带有微型定位夹具的机械平台,用于安装纳米压印室、紫外线固化源和校准显微镜。

它既可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模校准器,同时为整个压印过程提供可编程的自动控制。


我们纳米压印系统-光刻机的优势
•低于10纳米分辨率,99%的产量
•支持硬模具和软模具
•可变模具和基板尺寸提供的便利性和灵活性
•自动释放工艺可防止分离过程中的模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量。
•自动释放工艺可防止分离过程中的模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量。
•适用于各种应用的多功能流程:
•光学设备、显示器、数据存储、生物医学
•器件、半导体集成电路、化学合成和先进材料
•带触摸屏用户界面的可编程PLC允许通过定制参数进行过程控制
•专有的紫外固化纳米压印胶对硬度或厚度没有限制,并且与传统的光刻工艺兼容。

纳米压印系统-光刻机

纳米压印技术分为三个步骤。
第一步是模板的加工。一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为模板。由于电子的衍射极限远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率。
第二步是图样的转移。在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将模板压在其表面,采用加压的方式使图案转移到光刻胶上。注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏模板。
第三步是衬底的加工。用紫外光使光刻胶固化,移开模板后,用刻蚀液将上一步未去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,最终得到高精度加工的材料。


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信
地址:上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室 传真:021-55781190
©2024 科睿设备有限公司 版权所有 All Rights Reserved.  备案号: