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随着微电子技术和纳米技术的快速发展,光刻技术成为了半导体制造和高精度微加工中的核心技术。尤其是半自动光刻机,凭借其较高的性价比和较为灵活的操作模式,已经在许多高精度微加工领域中得到了广泛应用。一、半自动光刻机的工作原理光刻技术通过利用光敏材料(光刻胶)在紫外光或激光照射下发生化学...
球磨测厚仪的正确操作步骤:操作步骤:1.开机:装入电池后按红色按键或将仪器探头垂直接触被测物体表面并压实,仪器将自动开机。(使用时务必要使探头垂直接触被测物表面并压实,禁止接触状态下横向滑动探头,以免划伤探头前端红宝石。每次测量后将仪器拿起,离开被测物10cm以上,再进行下次测量。)2.设置:球磨测厚仪开机后按红色按键进入菜单,QNix4500为4个选项,QNix4500为2个选项:“Fe”为磁性金属基体模式,“NFe”为非磁性金属基体模式(仅QNix4500),“Fe/NF...
匀胶机(SpinCoater)用于晶片基底材料的表面光刻胶涂覆。匀胶机由样品台、滴胶装置和空心电动机组成,其工作原理是,通过在样品台上产生负压将需要旋涂的基底材料吸附在样品台上,光刻胶液滴注在基底材料的表面,通过准确控制电动机的旋转速度,以此来改变离心力的大小,同时通过控制胶液的流量来达到制备薄膜所需的厚度。常用的滴胶方式分为两种:即静态滴胶和动态滴胶。静态滴胶是在基片静止时将光刻胶滴注到基片的中心位置,滴胶量约为1-10ml,但在满足厚度需求的前提下,滴胶量还应根据光刻胶的...
多功能磁控溅射仪主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。工作原理:是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,产生E(电场)×B(磁场)所指的方向漂移,简称E×B漂移,其运动轨...
开尔文探针提供了一种无损、无触点的方法来测量各种材料组合的功函数差。这些探针可具有多种设计,包括不同的顶端形状、长度和半径。为了确定最佳设计,同时最大限度地减少测试。开尔文探针可以确定材料的接触电势差(或功函数差)。这种探针基于时变电容器,使用两个电极工作:由功函数已知的材料制成的可移动探针。由功函数未知的材料制成的固定样品。当这些电极电连接时,费米能级达到平衡。功函数较低的材料中的电子流入功函数较高的材料中,这种流动产生接触电势差,为电容器充电。此外,可移动电极中的振动改变...
磁控溅射镀膜机是一种普适镀膜机,用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜,亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层,以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。磁控溅射镀膜机主要优势:1、实用性:1.1、设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以放置于实验桌面上即可;1.2、通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;2、方便性:2.1、设备需要拆卸的部分均采用即插...
脉冲激光沉积也被称为脉冲激光烧蚀,是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段。发展历程:脉冲激光沉积的发展与探究,处处受制。事实上,当时的激光科技还未成熟,可以得到的激光种类有限;输出的激光既不稳定,重复频率亦太低,使任何实际的膜生成过程均不能付诸实行。因此,PLD在薄膜制作的发展比其它技术落后。以分子束外延(MBE)为例,制造出来的薄膜质素就优良得多。往后十年,由于激光科技的急速发展,提升了PLD的竞争能力。与早前的红宝...
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