半球电子能量分析器半径: 120mm 反转角度: 180 deg.

磁控溅射源/靶枪（1英寸/2英寸/3英寸）我们提供多种口径的圆形平面靶枪,尺寸1“, 2“ and 3“. 以及矩形靶枪 安装法兰口径：NW63CF，NW100CF 真空腔体内长度范围：150-400mm 真空腔体内端面直径：60-96 靶材直径： 1“, 2“ and 3“ 靶材大厚

真空腔体水气解吸附组件 ZCUVE代表了水蒸气解吸技术的新进展。*的设计可从2.75“扩展到8”法兰尺寸，紫外线功率因数w按比例增加

射频离子/原子源（可转换）射频离子源：用于离子束沉积，离子束辅助沉积，MEMS 射频原子源：用于合成氧化物，氮化物，氢原子清洗

X射线光源（可用于X射线电子能谱）? 双阳极X射线光源 ? 多种阳极材料 ? 具有差分抽气或者从安装口抽气 ? 70mm O.D. CF安装法兰