批号阅读器对齐并读取第一个可用150mm或200mm晶圆上的识别标签。将150mm晶圆与平面晶圆和200mm晶圆与凹口进行批量对齐。

手动/自动批量晶圆转移，AWT/MWT（自动/手动晶圆传送）机器在卡塞之间水平传送晶圆。

垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐，VBT系列机器是一种单级自动垂直晶圆转移工具，具有凹口/平面对齐选项。

自动AI宏观晶圆检测，将检查摄像头整合到SPPE和SPPE-SORT设备中，以自动检查晶片的任何方面。

自动AI晶圆边缘检测，安装在批次ID阅读器周围的Cognex InSight ViDi D905相机。

自动AI微晶圆检测，X/Y工作台在显微镜下移动晶片，手动装载系统，配备自定心晶圆装载台，计划采用全自动系统。