UV-LED曝光系统,适用于MEMS、微流体、光子学、半导体和光伏应用中使用的各种基板和光刻胶。我们的标准UV照明产品系列满足了300毫米宽(11.8英寸)掩模和晶片的光刻需求。
NANO IMPRINT纳米压印,既可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模对准器,同时为您的整个压印过程提供可编程的自动控制。
SPIN-1200T匀胶机,适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。
无掩膜光刻机, 激光直写系统是一个高价值的直写激光光刻机系统,面向大学和研究机构寻求扩大他们的能力。 它用亚微米像素分辨率的405nm激光在光敏抗蚀剂涂层表面大面积书写。你可以写任何东西,从光掩模到基础科学或应用科学的研究原型,集成相机可以用来调整现有的功能写。
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