13916855175
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半导体材料表征
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1)开放式构架,模块化设计——从单探针开始升级到独立双探针系统,继而升级到三探针、四探针系统〈br〉2)与光学显微镜*兼容,这是由*的探针及扫描器设计所决定的〈br〉3)可在线与微拉曼光谱、扫描电镜、聚焦离子束等技术联用〈br〉4)探针扫描与样品扫描可结合使用〈br〉5)除成像外,可结合使用多种类型探针,如近场光学探针、电学测量探针、热传导测量及纳米加热探针、化学传输探针等
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